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穿透式電子顯微鏡(HRTEM 300)

編號 6
位置 材料實驗館 R113-C
用途 1.鑑別積體電路中奈米等級的缺陷,包括在通孔底部嵌入的顆粒和殘留物。
2.確定結晶相,作為界面距離函數
3.奈米晶粒特性:核心/外殼調查、結塊和退火效應
管理者 蕭羽婷/董其桓
管理者Email voxia10@gmail.com / wageniusyne@gmail.com
分機電話 03-5715131#35357

 

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