穿透式電子顯微鏡(HRTEM 300)
編號
6
位置
材料實驗館 R113-C
用途
1.鑑別積體電路中奈米等級的缺陷，包括在通孔底部嵌入的顆粒和殘留物。
2.確定結晶相，作為界面距離函數
3.奈米晶粒特性：核心/外殼調查、結塊和退火效應
管理者
蕭羽婷/董其桓
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