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聚焦離子束顯微鏡(SII NANOTECH SMI3050)

編號 9
位置 材料實驗館 L111
用途 (1)定點切割(Precisional Cutting)-利用粒子的物理碰撞來達到切割之目的;
(2)選擇性的材料蒸鍍(Selective Deposition)-以離子束的能量分解有機金屬蒸氣或氣相絕緣材
管理者 陳捷婷
管理者Email julia6131998@gmail.com
分機電話 03-5715131#33827

 

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