| 編號 | 34 |
| 位置 | 材料科技館R125 |
| 用途 | 除了一般傳統X光繞射量測實驗，可作材料之晶體結構（Phase ID）、晶格常數（Lattice Parameter）、定性分析（Crystal Qualitative Analysis）之外，本設備搭配不同掃瞄模式及分析軟體，可針對多層薄膜作膜厚（Thinckness）、密度（Density）；針對單晶或磊晶結構薄膜作膜厚（Thinckness）、組成比（Compound Ratio）分析。 |
| 管理者 | 侯律丞 |
| 管理者Email | leohou0724@gmail.com |
| 分機電話 | 03-5715131 #33860 |