高解析度場發射電子微探儀(EPMA 200F)
編號
17
位置
材料科技館 R112
用途
場發射高解析電子微探儀(EPMA)可以針對金屬材料、電子材料、陶瓷材料、礦物進行微區域之成份定性及定量分析，大區域和高倍率(100,000X 以內 ) 之元素特性Ｘ光、二次電子、背向散射電子(BEI)等影像觀察，其測定之精確度比一般EDS高許多，是微區域成份分析很好的工具。
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許聖右
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