聚焦離子束顯微鏡（SII NANOTECH SMI3050）
名稱
聚焦離子束顯微鏡（SII NANOTECH SMI3050）
位置
材料實驗館 L111
用途
(1)定點切割(Precisional Cutting)－利用粒子的物理碰撞來達到切割之目的；
(2)選擇性的材料蒸鍍(Selective Deposition)－以離子束的能量分解有機金屬蒸氣或氣相絕緣材
管理者
陳捷婷
管理者Email
julia6131998@gmail.com
分機電話
03-5715131#35398