四點探針量測系統
編號
25
位置
材料科技館 R101-A
用途
可以經由輸入薄膜厚度、試片大小，即可量測待測物之
1.電阻值 Resistance
2.片電阻率 Sheet resistivity
3.體電阻率 Volume resistivity
4.電導率 Conductivity
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